EDX能量色散X射線分析儀是x射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質(zhì)相互作用時(shí)，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級(jí)x射線，不同元素發(fā)射出來(lái)的特征x射線波長(zhǎng)不同，能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱(chēng)為x射線能譜分析或能量色散x射線分析，所用設(shè)備通常稱(chēng)為能量色散譜儀。

 

　　EDX能量色散X射線分析主要單元是半導(dǎo)體探測(cè)器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線按能量展i}}Er7,5的分辨率遠(yuǎn)不如波長(zhǎng)色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn)，和通用的x射線波長(zhǎng)色散譜儀相比可提高10倍，如果進(jìn)行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測(cè)物質(zhì)的全部衍射花樣。

 

　　根據(jù)分光方式的不同，X射線熒光分析可分為能量色散和波長(zhǎng)色散兩類(lèi)，也就是通常所說(shuō)的能譜儀和波譜儀，縮寫(xiě)為EDXRF和WDXRF。

 

　　EDX能量色散X射線分析通過(guò)測(cè)定熒光X射線的能量實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品的分析的方式稱(chēng)之為能量色散X射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱(chēng)之為能譜儀，通過(guò)測(cè)定熒光X射線的波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品分析的方式稱(chēng)之為波長(zhǎng)色散X射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱(chēng)之為X射線熒光光譜儀。

 

　　根據(jù)激發(fā)方式的不同，X射線熒光分析儀可分為源激發(fā)和管激發(fā)兩種：用放射性同位素源發(fā)出的X射線作為原級(jí)X射線的X熒光分析儀稱(chēng)為源激發(fā)儀器；用X射線發(fā)生器（又稱(chēng)X光管）產(chǎn)生原級(jí)X射線的X熒光分析儀稱(chēng)為管激發(fā)儀器。

 

　　根據(jù)分析能力的大小還可分為多元素分析儀器和個(gè)別元素分析儀器。這種稱(chēng)呼多用于能量色散型儀器。在波長(zhǎng)色散型儀器中，根據(jù)可同時(shí)分析元素的多少可分為，單道掃描X熒光光譜儀、小型多道X熒光光譜儀和大型X熒光光譜儀。